Giao thoa kế động bốn sóng dọc

Giao thoa kế động bốn sóng dọc LPI-100, có khả năng đo động theo thời gian thực với tốc độ lên tới 15 khung hình/giây, thu thập chính xác thông tin hình dạng bề mặt của các phần tử quang học phẳng trong khẩu độ 100mm thông qua việc cắt đường đi chung bốn sóng công nghệ và giải điều chế mô hình nhiễu. Giao thoa kế thân thiện với người dùng, triển khai nhanh chóng, vận hành đáng tin cậy và đo lường có độ chính xác cao. Nó cung cấp hỗ trợ dữ liệu đáng tin cậy cho các công ty xử lý quang học, tổ chức học thuật, khoa đo lường, nhà nghiên cứu trong các tổ chức khoa học và các chuyên gia viết bài báo khoa học, khiến nó trở thành một công cụ vô giá trong công việc của họ.

Thông số kỹ thuật của mặt hàng

Tính năng của giao thoa kế động bốn sóng dọc BOJIONG

◆Lên tới 15 khung đo động thời gian thực

◆2nm RMS Độ phân giải pha cao

◆Độ phân giải siêu cao với 262144 điểm pha

◆Dựa trên nguyên tắc tự nhiễu kênh chung, thiết bị không cần gương tham chiếu và có khả năng chống nhiễu mạnh, trong môi trường nhà máy thông thường cũng có thể phát hiện chính xác bề mặt phẳng

◆Có thể thực hiện phát hiện động theo thời gian thực, có thể đạt được phát hiện động 15 khung hình/giây

◆Với quyền sở hữu trí tuệ độc lập, tiết kiệm chi phí, điều chỉnh đơn giản, cấu trúc nhỏ gọn

 Ứng dụng của giao thoa kế động bốn sóng dọc BOJIONG

Giao thoa kế động bốn sóng dọc BOJIONG này được trang bị cảm biến giao thoa kế bốn sóng FIS4, thiết bị này có khả năng phát hiện chính xác hình dạng của gương phẳng tiêu chuẩn. Hệ thống xử lý phần mềm đi kèm xuất ra các giá trị PV, RMS và POWER trên bề mặt của thành phần được thử nghiệm.

Chi tiết về Giao thoa kế động bốn sóng dọc BOJIONG

Sơ đồ bố cục tổng thể của Giao thoa kế động bốn sóng BOJIONG Planar

Giao thoa kế động bốn sóng dọc BOJIONG bao gồm một số mô-đun chức năng chính, bao gồm mô-đun nguồn sáng chiếu sáng, mô-đun mở rộng chùm tia thứ cấp, mô-đun sóng mang, mô-đun lấy nét điểm để căn chỉnh mẫu và mô-đun cảm biến giao thoa kế để phát hiện bề mặt hình dạng của mẫu.

Mô-đun nguồn sáng của hệ thống sử dụng tia laser khí helium-neon có bước sóng trung tâm 632,8 nm, cung cấp nguồn sáng chính xác và ổn định cho giao thoa kế.

Mô-đun mở rộng chùm tia thứ cấp được thiết kế để tăng đường kính chùm tia lên 100 mm, đảm bảo khả năng tương thích với các bộ phận quang học có đường kính lớn cần kiểm tra.

Phần sân khấu đóng vai trò là nền tảng để đặt các thành phần quang học phẳng khác nhau được thử nghiệm, chẳng hạn như tinh thể phẳng, tấm wafer ném đơn, chip cửa sổ và gương phản xạ phẳng. Bàn mẫu được trang bị tay quay trục X và Y để điều khiển chính xác vị trí của mẫu, đảm bảo rằng điểm sáng phát ra từ thiết bị bao phủ hoàn toàn bề mặt của mẫu thử. Ngoài ra, hai núm điều chỉnh được tích hợp vào bàn soi để tinh chỉnh độ nghiêng của mẫu, căn chỉnh mặt phẳng thử vuông góc với trục quang.

Hệ thống hình ảnh có thiết lập camera kép. Một camera là camera chụp ảnh quang học tạo thành mô-đun lấy nét tại chỗ, hỗ trợ căn chỉnh mẫu. Bằng cách quan sát vị trí thời gian thực của điểm quay lại của mẫu, mẫu có thể được điều chỉnh để đảm bảo độ chính xác của phép đo. Đường camera còn lại được trang bị cảm biến giao thoa kế bốn sóng FIS4, tạo thành mô-đun cảm biến giao thoa kế để phát hiện hình dạng bề mặt của mẫu. Bằng cách ghi lại các vân giao thoa kế đường đi chung, nó cung cấp phản hồi ba chiều theo thời gian thực trên địa hình bề mặt của mẫu thử nghiệm. Hệ thống camera kép có khả năng hoạt động đồng thời, nâng cao hiệu quả và độ chính xác của quá trình đo.

Mô-đun phần mềm chuyên nghiệp

◆Thiết bị được trang bị phần mềm chuyên dụng được thiết kế cho "Giao thoa kế động bốn sóng dọc", có thể hiển thị và xuất hình ảnh 3D thời gian thực của bề mặt thành phần quang học được đo, cũng như cung cấp các giá trị PV, RMS và POWER cho bề mặt đo được.

◆Hơn nữa, phần mềm còn có khả năng xuất dữ liệu đo lường thô, cung cấp hỗ trợ phân tích định lượng quan trọng cho nhiều nỗ lực nghiên cứu khác nhau và cho phép người dùng dễ dàng thực hiện công việc nghiên cứu và phân tích dữ liệu tiếp theo.