Máy phân tích mặt sóng tia cực tím này có độ phân giải 512×512 pixel (262.144 điểm pha), có khả năng thực hiện các phép đo nhiễu ở mặt phẳng tiêu cự phía sau. Công nghệ này yêu cầu mức độ kết hợp thấp từ nguồn sáng và loại bỏ nhu cầu dịch pha. Với hệ thống chụp ảnh tia cực tím, thiết bị có thể đạt được phép đo mặt sóng theo thời gian thực. Nó có tính năng chống rung và ổn định vượt trội, cho phép đo độ chính xác ở cấp độ nanomet mà không cần các thiết bị cách ly rung.
|
Tên sản phẩm |
Máy phân tích mặt sóng cực tím |
|
Dải bước sóng |
200nm~450nm |
|
Kích thước mục tiêu |
13,3mm × 13,3mm |
|
Độ phân giải không gian |
26μm |
|
Độ phân giải lấy mẫu |
512×512(262144pixel) |
|
Độ phân giải pha |
＜2nmRMS |
|
Độ chính xác tuyệt đối |
10nmRMS |
|
Dải động |
90μm(256 phút) |
|
Tốc độ lấy mẫu |
32 khung hình/giây |
|
Tốc độ xử lý thời gian thực |
10Hz (Độ phân giải đầy đủ) |
|
Loại giao diện |
USB3.0 |
|
Kích thước |
70mm×46.5mm×68.5mm |
|
Cân nặng |
khoảng 240g |
◆2nm RMS độ phân giải pha cao
◆ Phổ UV dải 200nm~450nm
◆Độ phân giải cực cao của các điểm pha 512×512 (262144)
◆Tự nhiễu ánh sáng một kênh, không cần ánh sáng tham chiếu
◆Hiệu suất chống rung cực mạnh, không cần cách ly rung quang học
◆Giống như hình ảnh, việc xây dựng đường dẫn quang học dễ dàng và nhanh chóng
◆Hỗ trợ các chùm tia chuẩn trực và các chùm tia không chuẩn trực có NA cao
Máy phân tích mặt sóng cực tím BOJIONG này được sử dụng để đo quang sai của hệ thống quang học, hiệu chuẩn hệ thống quang học, đo hình dạng bề mặt phẳng (wafer), đo hình dạng bề mặt hình cầu quang học, v.v.
|
Phát hiện mặt sóng chùm tia laser |
Phản ứng phát hiện mặt sóng của chế độ quang học thích ứng Zernike |
|
Ví dụ về đo quang sai của hệ thống quang học |
Ví dụ đo hiệu chuẩn hệ thống quang học |
|
Ví dụ về đo độ nhám bề mặt wafer |
Đo hình thái vi khắc - mẫu khuyết tật 1 # -114 dòng |
Máy phân tích mặt sóng cực tím BOJIONG được phát triển bởi nhóm giáo sư từ Đại học Chiết Giang và Đại học Công nghệ Nanyang của Singapore, với công nghệ được cấp bằng sáng chế trong nước, kết hợp nhiễu xạ và giao thoa để đạt được giao thoa cắt ngang bốn sóng phổ biến, với độ nhạy phát hiện vượt trội và hiệu suất chống rung , và có thể nhận ra phép đo giao thoa động tốc độ cao và thời gian thực mà không cần cách ly rung. Phép đo thời gian thực hiển thị tốc độ khung hình trên 10 khung hình. Đồng thời, cảm biến FIS4 có độ phân giải pha cực cao 512×512 (260.000 điểm pha), dải đo bao phủ 200nm~15μm, độ nhạy đo đạt 2nm và độ lặp lại đo tốt hơn 1/1000λ ( RMS). Nó có thể được sử dụng để phân tích chất lượng chùm tia laser, phát hiện trường dòng plasma, đo thời gian thực phân bố trường dòng tốc độ cao, đánh giá chất lượng hình ảnh của hệ thống quang học, đo cấu hình vi mô và chụp ảnh pha định lượng của tế bào sinh học.
|
FIS4 Thông số kỹ thuật của từng dòng sản phẩm |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Sản phẩm |
FIS4-UV |
FIS4-HR |
ĐỒNG HỒ FIS4 |
FIS4-HS |
Tế bào FIS4 |
FIS4-NIR |
|
Dải bước sóng |
200 ~ 450nm |
400 ~ 1100nm |
400 ~ 1100nm |
400 ~ 1100nm |
400 ~ 1100nm |
900 ~ 1200nm |
|
Kích thước mục tiêu mm2 |
13,3×13,3 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
10,24×10,24 |
7,07×7,07 |
13,3×13,3 |
|
Độ phân giải không gian |
26μm |
23,6μm |
26μm |
24,4μm |
23,6μm |
26μm |
|
Pixel hình ảnh |
- |
2048×2048 |
- |
- |
2048×2048 |
- |
|
Độ phân giải đầu ra pha |
512×512 （262144pixel） |
300×300(90000pixel) |
512×512(262144pixel) |
420×420(176400pixel) |
300×300(90000pixel) |
512×512(262144pixel) |
|
Độ phân giải pha |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
＜2nmRMS |
|
Độ chính xác tuyệt đối |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
10nmRMS |
10nmRMS |
15nmRMS |
|
Dải động |
90μm （256 phút） |
110μm （150 phút） |
162μm （256 phút） |
132μm （210 phút） |
110μm （150 phút） |
270μm （256 phút） |
|
Tốc độ lấy mẫu |
32 khung hình/giây |
24 khung hình/giây |
45 khung hình/giây |
107 khung hình/giây |
24 khung hình/giây |
45 khung hình/giây |
|
Tốc độ xử lý thời gian thực |
10Hz (Giải pháp đầy đủ) |
10Hz (Giải pháp đầy đủ) |
10Hz (Giải pháp đầy đủ) |
10Hz (Độ phân giải đầy đủ) Hỗ trợ xử lý hàng loạt bị trì hoãn |
10Hz (Giải pháp đầy đủ) |
10Hz (Giải pháp đầy đủ) |
|
Loại giao diện |
USB3.0 |
CHẶT |
USB3.0 |
CHẶT |
CHẶT |
USB3.0 |
|
Giao diện bên ngoài |
- |
- |
- |
- |
cổng C |
- |
|
Kích thước mm2 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
56,5x43x41,5 |
56,5x43x41,5 |
70x46,5x68,5 |
|
cân nặng |
khoảng 240g |
khoảng 120g |
khoảng 240g |
khoảng 120g |
khoảng 120g |
khoảng 240g |
Địa chỉ
Số 578 đường Yingkou, quận Yangpu, Thượng Hải, Trung Quốc
điện thoại
