Cảm biến giao thoa kế bốn sóng FIS4được phát triển bởi nhóm giáo sư đến từ Đại học Chiết Giang và Đại học Công nghệ Nanyang, Singapore. Nó có công nghệ được cấp bằng sáng chế trong nước, kết hợp nhiễu xạ và nhiễu, thực hiện giao thoa cắt ngang bốn sóng chung, có độ nhạy siêu phát hiện và khả năng chống rung, đồng thời có thể đạt được phép đo giao thoa kế động tốc độ cao, thời gian thực mà không cần cách ly rung; tốc độ khung hình hiển thị đo lường thời gian thực đạt hơn 10 khung hình. Đồng thời, cảm biến FIS4 có độ phân giải pha cực cao 512×512 (260.000 điểm pha), dải đo bao phủ 200nm~15μm, độ nhạy đo đạt 2nm và độ lặp lại đo tốt hơn 1/1000λ ( RMS). Nó có thể được sử dụng để phân tích chất lượng chùm tia laser, phát hiện trường dòng plasma, đo thời gian thực phân bố trường dòng tốc độ cao, đánh giá chất lượng hình ảnh hệ thống quang học, đo đường viền vi mô và chụp ảnh pha định lượng tế bào sinh học, v.v.
Cảm biến nhiễu FIS4 đơnđường quang giao thoa chùm tia
Nguyên lý làm việc của cảm biến giao thoa bốn sóng là mặt sóng cần phát hiện bị nhiễu xạ bởi cách tử lai được mã hóa ngẫu nhiên và bốn ánh sáng nhiễu xạ được tạo ra theo hai hướng trực giao. Bốn ánh sáng nhiễu xạ này giao thoa trên bề mặt hình ảnh và có thể thu được bốn vân giao thoa cắt ngang mặt sóng.
Ưu điểm của cảm biến nhiễu bốn sóng: nhiễu đường quang đơn có khả năng chống rung siêu mạnh, không cần đèn tham chiếu, bố cục đơn giản, không cần thiết bị nhiễu đặc biệt, điều chỉnh nhanh chóng và dễ dàng, có thể chụp ảnh thời gian thực, không dịch pha quy trình là bắt buộc và nó đặc biệt thích hợp để phát hiện có độ chính xác cao trong môi trường nhà máy.
