Được phát triển đặc biệt để đo giao thoa kế thuận tiện trong công nghiệp, nghiên cứu khoa học và quốc phòng. Độ phân giải cao 300×300 (90.000) điểm pha, phản hồi quang phổ rộng 400-1100nm, 10 khung hình hiển thị kết quả 3D thời gian thực có độ phân giải đầy đủ, cung cấp công cụ đo cảm biến mặt sóng lý tưởng để phát hiện mặt sóng tia laze, quang học thích ứng, hệ thống quang học hiệu chuẩn, phát hiện cửa sổ quang học, hình dạng bề mặt mặt phẳng quang học, đo hình dạng bề mặt hình cầu, độ nhám bề mặt, phát hiện đường viền vi mô bề mặt, v.v.
Cảm biến giao thoa kế bốn sóng độ phân giải cao FIS4 HRsử dụng công nghệ nhiễu xạ bốn sóng được mã hóa ngẫu nhiên đã được cấp bằng sáng chế để đạt được khả năng tự giao thoa mặt sóng đo được theo kênh đơn và giao thoa xảy ra ở vị trí mặt phẳng hình ảnh phía sau. Nó có yêu cầu thấp về sự kết hợp của nguồn sáng, không yêu cầu dịch pha và có thể đạt được phép đo giao thoa kế bằng hệ thống hình ảnh thông thường. Nó có khả năng chống rung cực cao và độ ổn định cực cao, đồng thời có thể đạt được phép đo chính xác ở cấp độ nm mà không cần cách ly rung. So với cảm biến Hartmann mảng vi thấu kính, nó có nhiều điểm pha có độ phân giải cao hơn, dải tần thích ứng rộng hơn, dải động lớn hơn và hiệu suất chi phí tốt hơn.
Các tính năng chính
◆ Độ phân giải cao 300×300 (90.000) điểm pha
◆ Tự giao thoa ánh sáng một đường, không cần gương tham chiếu
◆ Dải phổ rộng 400nm~1100nm
◆ Độ phân giải pha cao RMS 2nm
◆ Chống rung cực mạnh, không cần cách ly rung quang học
◆ Xây dựng đường dẫn ánh sáng giao thoa đơn giản và nhanh chóng
◆ Hỗ trợ các chùm tia chuẩn trực và các chùm hội tụ NA lớn
Ứng dụng sản phẩm
Phát hiện mặt sóng chùm tia laser, quang học thích ứng, đo bề mặt phẳng, hiệu chuẩn hệ thống quang học, phát hiện cửa sổ quang học, mặt phẳng quang học, đo bề mặt hình cầu, phát hiện độ nhám bề mặt.
