Giao thoa kế phẳng Laser

Giao thoa kế phẳng Laser (LPI-100), với tốc độ đo động thời gian thực lên tới 15 khung hình mỗi giây, có khả năng phát hiện thời gian thực hình dạng bề mặt của các phần tử quang học phẳng trong khẩu độ 100mm. Chùm tia mang thông tin hình dạng bề mặt của phần tử đo được nhiễu xạ thông qua một cách tử được mã hóa đặc biệt, cách tử này cắt mặt sóng thành bốn phần, tạo thành mô hình giao thoa hai chiều cắt đường chung với bốn mặt sóng. Bằng cách giải điều chế nhiễu hai chiều, có thể thu được thông tin hình dạng bề mặt của phần tử.

Thông số kỹ thuật của mặt hàng:

Tính năng của giao thoa kế phẳng laser BOJIONG

◆Lên tới 15 khung đo động thời gian thực

◆2nm RMS Độ phân giải pha cao

◆Độ phân giải siêu cao với 262144 điểm pha

◆Có thể thực hiện phát hiện động theo thời gian thực, có thể đạt được phát hiện động 15 khung hình/giây

◆Với quyền sở hữu trí tuệ độc lập, tiết kiệm chi phí, điều chỉnh đơn giản, cấu trúc nhỏ gọn

◆Dựa trên nguyên tắc tự nhiễu kênh chung, thiết bị không cần gương tham chiếu và có khả năng chống nhiễu mạnh, trong môi trường nhà máy thông thường cũng có thể phát hiện chính xác bề mặt phẳng

Ứng dụng của giao thoa kế phẳng Laser BOJIONG

Máy đo giao thoa kế phẳng BOJIONGLaser này được trang bị cảm biến giao thoa kế bốn sóng FIS4 để phát hiện hình dạng gương phẳng tiêu chuẩn và phần mềm xử lý đưa ra giá trị PV, giá trị RMS và giá trị POWER của bề mặt của thành phần được kiểm tra.

Chi tiết về Giao thoa kế phẳng Laser BOJIONG

Sơ đồ bố cục tổng thể của Giao thoa kế động bốn sóng BOJIONG Planar

Các mô-đun chức năng của Giao thoa kế phẳng Laser BOJIONG có thể được chia thành mô-đun nguồn sáng chiếu sáng, mô-đun mở rộng chùm tia thứ cấp, mô-đun sóng mang, mô-đun lấy nét tại chỗ để hỗ trợ điều chỉnh thái độ mẫu và mô-đun cảm biến giao thoa kế để phát hiện hình dạng bề mặt mẫu .

Mô-đun nguồn sáng của hệ thống sử dụng tia laser neon khí heli có bước sóng trung tâm là 632,8nm.

Mô-đun mở rộng chùm tia thứ cấp mở rộng kích thước chùm tia lên 100mm, đáp ứng yêu cầu phát hiện đường kính lớn.

Phần bệ được sử dụng để đặt các thành phần quang học phẳng cần kiểm tra, chẳng hạn như tinh thể phẳng, tấm wafer đơn, chip cửa sổ, gương phản xạ phẳng, v.v. Bàn tải được trang bị tay quay di chuyển theo hướng X và Y để điều khiển chuyển động của mẫu sao cho điểm sáng phát ra của thiết bị bao phủ hoàn toàn bề mặt của mẫu thử. Đồng thời, hai núm xoay cũng được lắp đặt trên bệ để điều chỉnh tư thế nghiêng mẫu. Bằng cách điều chỉnh các núm này, mặt phẳng thử nghiệm được tạo vuông góc với trục quang.

Hệ thống hình ảnh có hệ thống camera kép. Một trong số chúng sử dụng camera chụp ảnh quang học để tạo thành mô-đun lấy nét điểm nhằm hỗ trợ điều chỉnh tư thế mẫu. Bằng cách quan sát vị trí điểm quay lại của mẫu trong thời gian thực, tư thế mẫu được điều chỉnh để đảm bảo độ chính xác của phép đo. Đường dẫn còn lại được trang bị cảm biến giao thoa kế bốn sóng FIS4, tạo thành mô-đun cảm biến giao thoa kế để phát hiện hình dạng bề mặt mẫu. Bằng cách ghi lại các vân giao thoa kế đường đi chung, có thể đạt được phản hồi thời gian thực về thông tin ba chiều trên bề mặt mẫu thử. Hệ thống camera kép có thể hoạt động đồng thời.

Mô-đun phần mềm chuyên nghiệp

◆Được trang bị phần mềm "Giao thoa kế phẳng Laser", nó có thể hiển thị và xuất hình ảnh 3D thời gian thực của mặt phẳng phần tử quang được đo, xuất ra giá trị PV, giá trị RMS và giá trị POWER của bề mặt đo được.

◆Đồng thời, phần mềm hỗ trợ xuất dữ liệu thô của kết quả đo, cung cấp hỗ trợ dữ liệu phát hiện định lượng cho các nghiên cứu khác nhau và tạo điều kiện cho người dùng tiến hành phân tích và nghiên cứu dữ liệu trong tương lai.